佳能推出晶圆测量机新品MS-001：比光刻机精度更高...

mnak888

IT之家 2 月 21 日消息，在逻辑、存储器、CMOS 传感器等尖端半导体领域，制造工艺日趋复杂，半导体元器件制造厂商为了制造出高精度的半导体元器件，需要提高套刻的精度，因而曝光前要测量的对准测量点也越来越多。

如果在半导体光刻机中对数量众多的测量点进行对准测量的话，测量本身会非常耗时，进而就会降低半导体光刻机的生产效率。为此，半导体制造领域引进了晶圆测量机，将半导体光刻机的对准测量功能分离出来，以此来确保生产的高精度和效率。

2 月 21 日，佳能推出了半导体制造用晶圆测量机“MS-001”，该产品可以对晶片进行高精度的对准测量。



据介绍，“MS-001”所搭载的调准用示波器安装有区域传感器，可以进行多像素测量，降低测量时的噪音。另外，“MS-001”还可以对多个种类的对准标记进行测量。

通过采用新开发的调准用示波器光源，新产品可提供的波长范围比在半导体光刻设备中测量时大 1.5 倍，能够以用户所需的任意波长进行对准测量。因此，相较于在半导体光刻设备中所进行的测量，“MS-001”所能实现的对准测量精度要更高。



▲ 增加的对准标记（示意）

佳能表示，随着新产品的应用，可以在晶片运送至半导体光刻设备之前统一完成大部分的对准测量，减轻在半导体光刻设备中进行对准测量操作的工作量，从而提高半导体光刻设备的生产效率。


新闻来源：https://www.ithome.com/0/674/852.htm

jcd_chh

曾经日系半导体制造技术也辉煌过，现在整体在先进制程上还是没落了

Yung123

jcd_chh 发表于 2023-2-21 22:11
曾经日系半导体制造技术也辉煌过，现在整体在先进制程上还是没落了

小日子也是被迫落后吧？

348495990

Yung123 发表于 2023-2-21 22:21
小日子也是被迫落后吧？

不是的 本来台积电先找的倭系 倭系太自大没鸟 然后没办法才找到阿斯麦

赫敏

Yung123 发表于 2023-2-21 09:21
小日子也是被迫落后吧？

不是，因为美国先落后，台积电+ASML共同研发双双崛起，日系才落后

asukahan

348495990 发表于 2023-2-21 22:54
不是的 本来台积电先找的倭系 倭系太自大没鸟 然后没办法才找到阿斯麦

倭在手机上也是这么不鸟**的：中国能有几个人用手机！后来**才有了GSM

mj_majun

岛国的生态环境，和视野，眼界决定的很多事情

赫敏

yijioucheng 发表于 2023-2-21 20:44
啊美没直接出手，但是小日子确实是被迫落后的。

如何能够没出手一样被迫落后

愿闻其详

温柔原始人

赫敏 发表于 2023-2-22 09:54
如何能够没出手一样被迫落后

愿闻其详

这是人均收入决定的。消费电子来说索尼可以做游戏机，但做手机估计要亏本的。世界行业分配都有收入成本决定的。并不是所有国家希望自己所有都做，因为精力和收入必须放弃一些，但可能放弃错，但必须有所取舍。

毛茸茸

没毛病，能量产3nm的芯片说明肯定有比3nm精度更高的工装和检具，我们和世界先进水平的差距远不止28到3，对手还有更先进的技术储备。