灵活，智能，可持续，应材推出新一代晶圆制造平台Vistara，助力客户应对生产挑战

埃律西昂

来源： 应用材料公司官网
原英文标题： <Applied Materials’ New Vistara™ Wafer Manufacturing Platform Helps Customers Tackle Chipmaking Challenges>

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• 灵活：应用材料公司十多年来最重要的新平台拥有来自应用材料公司和合作伙伴的前所未有的各种腔室类型、尺寸和配置
• 智能：海量板载传感器数据馈送 应用材料公司的人工智能 x ™软件平台可加快研发速度，加快上市时间，并在大批量生产中最大限度地提高产量和产量
• 可持续：首个专门设计的平台，通过减少晶圆厂能源、化学品和建筑材料的消耗，帮助客户实现可持续发展目标
  

加利福尼亚州圣克拉拉，2023年7月11日（环球通讯社）--应用材料公司今天推出了Vistara™，这是应用材料公司十多年来最重要的晶圆制造平台创新，旨在为芯片制造商提供应对日益增长的芯片制造挑战所需的灵活性、智能性和可持续性。

Vistara平台建立在该公司在半导体制造平台（包括Endura，Producer，Centura和Centris）的悠久领导地位之上，这些平台遍布世界各地的晶圆厂，几乎用于生产所有芯片。Vistara 由应用材料公司硬件、软件、工艺技术和生态效率设计团队的数百名工程师历时四年多开发而成。

“与其前辈一样，Vistara旨在成为客户多年创新，可靠性和生产力的可信赖平台，”应用材料公司半导体产品事业部总裁Prabu Raja博士说。“Vistara的推出恰逢其时，半导体行业需要独特的解决方案来应对与复杂性，成本，节奏和碳排放相关的日益严峻的芯片制造挑战。

灵活

Vistara无与伦比的灵活性可帮助芯片制造商解决先进芯片制造日益复杂的挑战。Vistara 平台能够使用应用材料公司及其合作伙伴提供的前所未有的各种腔室类型、尺寸和配置。它可以配置四个或六个晶圆批量加载端口，以及从4个到多达12个工艺腔室，以处理各种工作负载。Vistara平台既接受原子层沉积和化学气相沉积等工艺中使用的较小腔室，也接受外延和蚀刻等工艺中使用的较大腔室。应用材料公司及其客户可以将这些腔室结合起来开发IMS™（Integrated Materials Solution，集成材料解决方案）配方，从而在同一系统中在真空下完成许多连续的晶圆制造工艺步骤。Vistara的灵活性为芯片制造商提供了以前从未实现的IMS技术组合，使他们能够提供创新的晶体管，存储器和布线，提高性能和功率，并防止扼杀产量的颗粒和缺陷。

智能

Vistara平台的智能通过加快上市时间并最大限度地提高大批量生产的生产力和产量，帮助客户应对不断增长的节奏和成本挑战。Vistara平台配置了数千个传感器，这些传感器将大量实时数据馈送到应用材料公司的人工智能 x ™软件平台，该平台提供涵盖研发、工艺转移和产能提升以及大批量生产的应用程序。来自数千个工艺变量的可操作数据使工程师能够利用机器学习和 AI 的强大功能来加速配方，从而获得最佳的芯片性能和功耗以及最宽的工艺窗口。整个平台都集成了智能功能，包括工厂接口模块，其中负载锁被智能控制以优化泵和排气时间，帮助芯片制造商减少颗粒和缺陷，从而最大限度地提高产量。平台机器人自动校准，可将启动时间缩短多达 75%。在生产中，Vistara平台持续监控和校准其组件，以最大限度地减少人工干预，最大限度地延长正常运行时间并预测维护需求。

可持续

半导体工艺复杂性和步骤的增加增加了生产每个晶圆所需的能量和材料。Vistara 是第一个专门用于推进应用材料公司“3x30”计划的平台，该计划旨在到 2030 年将等效能源使用、化学品使用的影响和洁净室占地面积要求减少 30%。工程师完全重新设计了Vistara平台的燃气面板，与以前的设计相比，将等效能耗降低了50%以上，并优化了平台使用能源密集型子晶圆厂组件（包括泵、热交换器和冷却器）的方式。与以前的平台相比，这些改进可以将平台能耗降低多达35%，帮助芯片制造商减少范围1（直接温室气体排放）和范围2（能源购买导致的排放）的排放。Vistara还将系统的洁净室占地面积减少了多达30%。这种节约有助于客户在更小的设施中生产更多的晶圆，减少混凝土和钢材等碳密集型建筑材料的使用，每建成一座10万晶圆启动/月（WSPM）的工厂，减少30%的碳排放就有可能节约100万吨碳。

EcoTwin软件简介
应用材料公司还推出了EcoTwin生态效率软件，该软件首先在Vistara平台上提供。EcoTwin 软件使用传感器数据帮助工程师实时监控腔室、系统和厂务层组件的能源和化学品消耗。工艺工程师可以使用 EcoTwin 仪表板比较替代化学品、配方和生产技术的碳影响，以不断提高节点生命周期内的可持续性，并跟踪和报告实现可持续发展目标的进度。

可用性

第一批Vistara平台正在交付给所有领先的存储器客户，用于蚀刻应用。应用材料公司预计，随着晶圆厂设备行业的增长，其所有主要平台的单位都将增长，以支持全球半导体需求的预期增长。