SK海力士将于明年启动High-NA EUV工艺DRAM试产，预计2026年前后量产

埃律西昂

来源： DDaily

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- 预计最早于 2025 年底量产...... 探索 EUV-Hi-NA 交叉应用
- 三星电子也在推进... 美光将于 2025 年首次引入 EUV

[数字日报记者 Kim Do-hyun]SK hynix继续其存储器创新。继高带宽存储器（HBM）和 300+ 层 NAND 闪存之后，该公司计划加速开发基于下一代极紫外线（EUV）的 DRAM。该公司决心与第三大厂商美光（Micron）拉开距离。

据 23 日的一份行业报告称，SK hynix 将从明年开始制造采用 "High-NA "工艺的 DRAM 原型。

Hi-NA 是最新光刻技术 EUV 的下一个版本。EUV 的波长比目前最流行的光刻技术--氟化氩（ArF）短约 14 倍，是一种创建微小电路的方法。此外，还可以用 EUV 制作单个图案，而不是用 ArF 制作多个图案。

就 EUV 而言，它首先用于系统半导体，然后扩展到存储器。2021 年，SK hynix 首次将 EUV 工艺应用于其第四代 10 纳米级（1a）DRAM。

与 EUV 相比，Hi-NA 的特点是通过增大透镜和反射镜的尺寸，将数值孔径从 0.33 提高到 0.55。分辨率是衡量透镜或光敏材料精细程度的标准。极紫外光将用于 3 纳米半导体，而 High-NA 则有望用于 2 纳米半导体。

与 EUV 一样，High-NA 将由位于荷兰的 ASML 独家提供，并配备专用设施。2024 年，ASML 将与全球最大的半导体研究机构比利时 IMEC 合作开设实验室，测试High-NA工艺，并于 2025 年开始大规模生产设备。

同样，半导体合同制造商（代工厂）也将积极配备High-NA设备。台积电（TSMC）、三星电子（Samsung Electronics）和英特尔（Intel）就是其中之一。SK hynix 也下了订单。因此，预计 SK hynix 将于明年开始在实验室生产Hi-NA D-RAM 样品，并于 2026 年左右量产主要产品。

继 1a DRAM 之后，SK hynix 还为其 10 纳米第五代（1b）DRAM 引入了 EUV 工艺。每种产品都只在一层使用了 EUV 工艺。此前，SK hynix 曾表示将从第六代 10 纳米级（1c）DRAM 开始增加 EUV 层数。预计下一代产品将采用 Hi-NA。

此外，SK hynix 还在考虑将这两种技术与 Hi-NA 混合使用，就像目前使用 ArF 和 EUV 一样。目前，ArF 技术占主导地位，而 EUV 或 Hi-NA 技术的渗透率会越来越高。

同样，SK hynix 一直致力于最大限度地提高其 EUV 技术能力，包括在今年早些时候扩大其专门 EUV 团队的规模。

三星电子（Samsung Electronics）是全球首家生产 EUV DRAM 的企业，预计将与 SK hynix 同时或更早生产出Hi-NA DRAM。由于三星电子在其代工业务中积极利用 EUV，因此相信它在技术诀窍方面比其存储器竞争对手更具优势。

另一方面，美光公司要到计划于 2025 年量产的 1c D-AM 才会首次引入 EUV。这比三星和 SK hynix 晚了四到五年。鉴于这两家公司都将于明年开始开发Hi-NA DRAM，因此第一名和第二名之间的差距很可能会再次拉大。最近，美光公司加快了追赶这两家公司的步伐，连续获得世界第一。

SK hynix 表示："我们不能透露未来的产品，但我们将继续扩大 EUV 和 Hi-NA 在 DRAM 中的应用。"

Ekaterina

第一次见将 “数值孔径” 翻译为 “分辨率” 的。。。

KingDon

内存也要用euv？

trdjack

好耶，没生产设备看你们还怎么弯道超车。

westbobo

trdjack 发表于 2023-8-29 08:05
好耶，没生产设备看你们还怎么弯道超车。

“你们”？

huhudna

trdjack 发表于 2023-8-29 08:05
好耶，没生产设备看你们还怎么弯道超车。

建议永封

SS₇ᴅ0057

trdjack 发表于 2023-8-29 08:05
好耶，没生产设备看你们还怎么弯道超车。

建议永封

mofunzone

trdjack 发表于 2023-8-29 08:05
好耶，没生产设备看你们还怎么弯道超车。

大人，mate60p出来了

trdjack

huhudna 发表于 2023-8-29 21:13
建议永封

。。。。我是友军。。忘记加狗头了

trdjack

SS₇ᴅ0057 发表于 2023-8-29 22:04
建议永封

。。。。我是友军。。忘记加狗头了

trdjack

mofunzone 发表于 2023-8-30 09:15
大人，mate60p出来了

。。。。我是友军。。忘记加狗头了，mate60p已下订

trdjack

westbobo 发表于 2023-8-29 12:58
“你们”？

我是在模仿外网的**语气。。。忘记加狗头了。

sun1a2b3c4d

看个新闻怎么还批判上了呢？

mofunzone

trdjack 发表于 2023-8-30 08:54
。。。。我是友军。。忘记加狗头了，mate60p已下订

刀已经进去了，下辈子注意点🐶

trdjack

mofunzone 发表于 2023-8-30 13:11
刀已经进去了，下辈子注意点🐶

太冤枉了